시원테크

크린룸

미연방 규격 변화와 ISO 규격

209A	209B	추가개정	209C 209D	209E
- C.R.W.S의 필요한 조건 ▶ 기류방식·속도 ▶ 압력온·습도 ▶ 소음 ▶ 순환회수 ▶ 진동 - 측정법 - CLASS분류 ▶ 100 ▶ 10,000 ▶ 100,000	- 목차 209.A와 - 동일 -습도45% → 40±5% 표시 이외의 -CLASS사용 가능 화재에 대한주의 추가 -표준풍속90 feet/min20 feet/min -포장에 대한주의 추가	-CLASS 1,000의 추가 -CLASS의 보증장소를 작업부상류로 한다.	-청정도 CLASS의 분류를 주로 한다. -CLASS 100이상과 CLASS 100미만으로 나눈다. -0.1,0.2,0.3㎛의 측정을 추가 -청정도 평가에 통계적 수법을 도입 -Sampling 위치, 수량을 명시 -새용어의 추가 -검증과 Monitoring을 구분	-METER법 및 ENGLISH 단위를 공동으로 표시 -광학계수로 측정할 수 있는 입자크기에서의 CLASS규정과 응축핵 계수기로 측정할 수 있는 미세입자 갯수를 표기한 U-descriptor 표기방법을 혼합 또는 각각 표기 가능 -샘플링 위치 및 샘플링 횟수 -샘플링 볼륨 및 샘플링 시간

미연방규격 기준 (U.S.Fed.Std)

0.5 ㎛ 이상 크기의 입자가 1 ft³ 중에 몇 개 포함되어 있는가에 따라 CLASS로 표시하며 가장널리 사용하는 규격이다. (예 : CLASS100,000)

ISO규격 기준

0.1 ㎛ 이상 크기의 입자가 1 m³ 중에 몇 개 포함되어 있는가에 따라 CLASS로 표시한다.
( 예 : ISO CLASS 5일 경우 1 m³ 내에 0.1 ㎛ 이상의 입자가 100,000개 이내로 포함되어 있는 정도의 청정도를 나타냄.)

BCR(Bio Clean Room)에서 규격 기준

1 m³ 공기중의 미생물 수(CFU/m³)를 CLASS로 표시한다.

STANDARD	1ft³중의 균의 최대 수 BIOLOGICALPARTICLES PER CU.ft	1ft³에 일주일 가낙하균의 평균 BIOLOGICAL PARTICLES PER CUFT WEEK
Class 100	Class 10,000	Class 100,000
0.1 CFU/1ft³	0.5 CFU/1ft³	2.5 CFU/1ft³
1,200 CFU/1ft³week	6,000 CFU/1ft³week	30,000 CFU/1ft³week

미연방규격(U.S.Fed.Std.209E 조항)

ISO 규격( ISO DIS 14644-1(안) )

Table 1 Selected Airborne perticulate cleanliness for cleanrooms and clean zones
IOS Class ification number (N)	Max imum concentration limits (particles/㎥ of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below
IOS Class ification number (N)	0.1 ㎛	0.2㎛	0.3㎛	0.5㎛	1㎛	5㎛
ISO CLASS 1	10	2
ISO CLASS 2	100	24	10	4
ISO CLASS 3	1,000	237	102	35	8
ISO CLASS 4	10,000	2,370	1,020	352	83
ISO CLASS 5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
ISO CLASS 6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISO CLASS 7				352,000	83,200	2,930
ISO CLASS 8				3,520,000	832,000	29,300
ISO CLASS 9				35,200,000	8,320,000	293,000